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√ ネガ ポジ レジスト 150976-ネガ ポジ レジスト

型すなわちポジ型(光可溶化型)のレジストが上記 の条件を満足していたので,両者の解像力の差は歴 然としていた.このことが「レジストの解像度はレ ジスト固有のもの」という固定観念を生みだし,さ らには「ネガ型の解像度はポジ型に及ばない」といフォトレジストには光の当った部分が溶剤に不溶化す るネガ型と,光 の当った部分が可溶化するポジ型があ り,ネ ガ型フォトレジストにはポリケイ皮酸ビニル系と ゴム系が,ポ ジ型フォトレジストにはナフフォトレジストにはネガ型とポジ型があるが,ネ ガ型 フォトレジストはμm以 下を解像できないため,64k DRAM(最 小線幅30μm)以 上のLSIの 量産はポジ型 フォトレジストで行っている。 ポジ型フォトレジストはナフトキノンー1,2一ジァジド

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HHVカプラの特徴 ・セーフティロック機構を搭載。 ・正しく接続されていない場合は水素ガスが充てんできないように、日東工器独自のセーフティバルブ機構を搭載。 (70MPa) ・目視にて接続確認ができるON/OFFインジケータや加圧状態が分かるカラーインジケータを搭載。 (70MPa) ・着脱は作業性の高いワンタッチ方式を採用。 ・35MPa車両への70MPaノズル誤接続事業者の提案に基づき、6m地点の水素濃 度128%でも1%時と安全性に差は無いと 評価。 水素ディスペンサー と公道との距離 爆風 1kPa以下 人及び物に与える影響が保安上支障の無 いレベル(6mで04kPa) 火炎長 火炎が到達しない 火炎長34m水素ステーション普及に向けた取組み 新型水素ディスペンサー MPa 燃料電池自動車、水素ステーションの普及が進む中、高精度で安定した計測・充填ができ、デザインにもこだわった新型水素ディスペンサーを開発しました。 NEORISE(ネオライズ)と命名した新型ディスペンサーはシャッターや表示部前面にガラスを装着したスマートデザインになっており

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